Neues Tantal-Verfahren könnte Herstellung supraleitender Quantenchips erleichtern

Insider-Bericht

• Cornell-Forscher entwickelten einen Krypton-basierten Sputter-Prozess, der hochwertige supraleitende Tantal-Schichten bei 200 Grad Celsius auf Silizium abscheidet, was das Material potenziell einfacher in die kommerzielle Quantenchip-Fertigung integrierbar macht.
• Die Methode senkt die typische Tantal-Abscheidungstemperatur um etwa die Hälfte und erzeugt gleichzeitig dünne Schichten mit wesentlich höherer elektronischer Leitfähigkeit und hochwertigen Qubits.
• Die Forscher erklärten, dass der Prozess mit niedrigeren Temperaturen ein breiteres Fertigungsfenster für die Halbleiterherstellung bietet und dazu beitragen könnte, Material- und Nanofabrikations-Herausforderungen beim supraleitenden Quantencomputing zu bewältigen.
• Bild: Ein Team unter der Leitung von Valla Fatemi, Assistenzprofessor an der School of Applied and Engineering Physics in Duffield Engineering, entwickelte eine Methode, die Kryptongas verwendet, um die Abscheidungstemperatur des korrosionsbeständigen Metalls Tantal drastisch zu senken, was zu dünnen Schichten mit wesentlich höherer elektronischer Leitfähigkeit führt. (Bridget Reinsko/Bereitgestellt)

PRESSEMITTEILUNG — Um das Quantencomputing zu kommerzialisieren, benötigen Hersteller hochwertige supraleitende Materialien für Mikrochips, aber sie erfordern auch einen zuverlässigen, nachhaltigen Nanofabrikationsprozess.