CSIC在巴塞罗那开设量子纳米制造设施

内部简报

• 西班牙国家研究委员会 (CSIC) 在巴塞罗那微电子研究所 (IMB-CNM) 为量子纳米制造区举行了落成典礼，该区域被描述为西班牙同类设施中最大的研究机构。
• 该设施通过西班牙量子通信互补计划和 PERTE Chip 计划获得了超过 600 万欧元 的资金，用于扩大量子技术和先进微电子领域的纳米制造能力。
• 新区域包括电子束曝光、扫描电子显微镜和原子力显微镜设备，用于制造和表征纳米级器件和电路。

新闻稿 — 西班牙国家研究委员会 (CSIC) 是隶属于科学、创新和大学部 (MICIU) 的机构，近日在 巴塞罗那微电子研究所 (IMB-CNM) 为微纳制造洁净室的量子纳米制造区举行了落成典礼，这是西班牙同类设施中规模最大的研究机构。

CSIC 主席 Eloísa del Pino；加泰罗尼亚政府研究与大学部长 Núria Montserrat；MICIU 研究秘书长 Eva Ortega；以及政府驻加泰罗尼亚副代表 Mari Carmen García-Calvillo 今日访问了这一新设施。该设施目前是西班牙国内最先进的，用于制造应用于量子技术及其他先进微电子战略领域的纳米级器件和电路。参加此次活动的还有加泰罗尼亚政府研究总局局长 Teresa Sanchis；UAB 研究副校长 Albert Ruiz；西班牙技术转型协会 (SETT) 总经理 Javier Ponce；以及 Cerdanyola 市创新议员 Conchi Martínez。

这一举措代表了在加强西班牙和欧洲开发这些技术的能力方面迈出了新的一步，促进了从基础研究向具有未来工业应用潜力器件开发的转变，其应用领域包括通信、量子计算、医疗保健、能源和安全。

该设施的全面翻新由量子通信互补计划 (Plan Complementario de Comunicaciones Cuánticas) 提供的 600 多万欧元资助，该计划通过 CSIC 的量子技术跨学科专题平台 (QTEP+) 实施，以及由欧盟通过“下一代欧盟”基金资助的 PERTE Chip（经济复苏与转型战略项目：芯片、微电子和半导体）。

由西班牙政府启动的互补计划旨在促进西班牙数字量子技术的开发和实施，在西班牙建立高度安全的通信基础设施，并支持相关产业。该计划由 MICIU 利用欧盟“下一代欧盟”计划的资金、CSIC 以及马德里、加泰罗尼亚、巴伦西亚、巴斯克地区、卡斯蒂利亚-莱昂和加利西亚等自治区共同资助。

具体而言，该倡议是 PERTE Chip 计划下 IMB-CNM 洁净室翻新计划的一部分。与此同时，由于 Singulars Institucionals 提案征集，扩建进程将在未来几个月内开始，该项目由 Generalitat 研究与大学部以及欧盟（加泰罗尼亚 ERDF 2021–2027 计划）共同资助。这些举措代表了在短期和中期内，通过微纳制造唯一科学技术基础设施 (ICTS) 对洁净室所提供的技术能力进行的战略提升。

加强西班牙在半导体领域的能力

量子纳米制造区拥有最先进的纳米光刻和纳米级计量设备，能够以极高的精度制造和表征结构、器件和电路。其显著的能力包括引进了西班牙最先进的电子束曝光系统 EBPG 5150Plus，以及能够在整个制造过程的所有阶段对纳米级器件进行检查和分析的新设备，如 SEM/EBL 显微镜和 AFM。这些工具将提供给国内和国际科学技术界使用，扩大量子技术领域的研究、开发和先进原型制造能力。

IMB-CNM 因此巩固了在微电子和纳米电子设计与制造方面四十年的业绩记录，增强了 CSIC 作为西班牙在芯片和量子技术相关欧洲倡议中主要参与者之一的地位。